自动:指的是从基板的上载下,***时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要.UV-LED***机工作原理:在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行***,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形.东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。在***机紫外线精准制程上LED可采用采用双面***,光照均匀,宽幅可调整工作面保证了工作效率,没有红外线辐射,避免了菲林胀缩保证影像转移品质,光衰很慢增强了制程的稳定性和一致性提升产品的合格率。东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。目前,国外LED***机的应用市场比中国大陆较为广阔.国外进口***机设备是一比不菲的支出,在考虑设备支出之前还需要考虑后期维修,***,更新等N种费用.这对于国内中小型企业来讲,这也会是压倒骆驼的一根稻草.)