目的在于减反射钝化，PECVD即等离子体增强化学气相淀积设备，制作减少硅片表面反射的SiN薄膜（～80nm）；SiN薄膜中含有大量的氢离子，氢离子注入到硅片中，达到表面钝化和体钝化的目的，有效降低了载流子的复合，提高了电池的短路电流和开路电压。硅1烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。因逆变器效率的问题，还是会有部分的能量损失。这种系统通常能够并行使用市电和太阳能光伏发电系统作为本地交流负载的电源，降低整个系统的负载缺电率，而且并网光伏系统可以对公用电网起到调峰作用。但并网太阳能光伏发电系统作为一种分散式发电系统，对传统的集中供电系统的电网会产生一些不良的影响，如谐波污染、孤岛效应等。利用价廉、技术较简单的温度和品位较低的太阳能,将水加温成为160—200℃中低温的水蒸汽.利用技术较复杂、成本也相对较高的定日镜集热面小塔装置,将低品位的中低温的水蒸汽,继续升温加热到发电机组所需高温高压的水蒸汽,推动涡轮机组发电。吸收的热量,用廉价而品位较低的太阳能,占全部热量的70%—80%;所以两步走升温技术将大幅度地降低太阳能热发电技术的集热成本。)