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天津永利达实验室设备有限公司坐落于中国北方环渤海经济中心-天津,是一家专门从事实验室仪器、实验室家具研发、生产和销售的企业,自成立至今一直致力于各领域的研发和探索,依靠的生产线和国内外的***技术不断推陈出新。本发明的单芯片双轴水平光纤加速度传感器及其制备方法,包括:在基底上形成两个敏感方向相互正交的、对水平加速度敏感的单轴加速度敏感单元,单轴加速度敏感单元包括微反光镜、弹性梁以及光高反射膜,在第二基底表面形成微反光镜扭转空间;将基底与第二基底键合;对双轴加速度敏感芯片和光纤准直器进行光学耦合封装。)