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{***空气过滤器检漏}方法——高空气过滤器检漏检测方法——气溶胶光度计测试法气胶光度计测试法是***早期的测试方式,但是因为效果非常好,到今天仍旧沿用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。气胶光度计(AerosolPhotometer)是微粒计数器的一种,也是使用雷射科技,但是它在扫描空气样本的微粒之后,所给的是微粒的总体强度,不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质,现改用PAO,加压或加热雾化之后,可以产生次微米等级的微粒,可用来模拟无尘室的微粒,因此被当成验证微粒。微粒计数器测试法半导体业方面,早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。——洁净室检测之压差检测——这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。经过科学家一步步研究结果,发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制,因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化,导入滤网上游即可{洁净室检测}从业人员规范——洁净室检测从业人员规范——为了防止和削减洁净室从业人员对洁净室形成的污染。洁净室检测作业以外的人员,在与洁净室作业人员捷星接触说话时,要将自己背对曩昔,因为口鼻会向注视的方兴发出污染。做到口鼻不对洁净室的作业区。如果出现咳嗽或许打喷嚏的情况,要做到背对洁净室的作业区用手套掩住,然后及时替换手套。情况严重的者应立即离开洁净室区域,并向***陈述。{洁净室检测}——***过滤器检漏目的——为了通过测出允许的泄漏量,发现***过滤器及其安装的缺陷所在,以便采取补救措施。在洁净室中,***过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用***过滤器(HEPA),但***过滤器安装后能否达到设计要求,在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的,但工程安装结束后却未达到预定的效果,检测发现不是污染粒子超标,就是***数超标,并且还往往找不出真正原因。检测项目:风量(换气次数)、新风量、风速、压差(静压差)、温度、相对湿度、噪声、照度、***空气过滤器检漏、悬浮粒子(空气洁净度等级)、浮游菌、沉降菌、自净时间、表面染菌密度等。其实此类事情的发生,往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。)