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实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施[1]:(1)对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用***或亚***过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行***后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。(2)根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。(3)有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。(1)洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高i级别单向流洁净区的面积。标准的无尘净化车间需要那些净化设备??无尘净化车间又称为无尘室或洁净室,指将一定空间范围内,不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间***i主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。标准的净化车间需要那些净化设备无尘净化车间进风系统:??无尘净化车间进风系统要安装,新风过滤箱,***净化空调(***净化空调要分为初效/中效/***三个过滤段)末端有***送风口。有必要时还装有净化增压箱。净化车间回风系统:??无尘净化车间回风系统要安装,回风口,过滤初效器,中效回风箱。无尘净化车间缓冲区设备:??进入无尘净化车间之前***入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜,空气清新机。风淋室、货淋室及传递窗:??人和货物进入无尘净化车间须经过,风淋室,货淋室,传递窗主要传递小物品。?净化车间层流罩、洁净棚:??在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器等。)
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