VIC-D220流量控制器VIC-D220流量控制器VIC-D220流量控制器详询请致电：132,4667,5433吴经理工作Q：1139878854地址：深圳市南山区科技园南海大道4050号MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器系列是采用数字控制回路，即使大流量也保证了快速响应和高准确度，可以选择多种附加功能。多气体多量程质量流量控制器韩国MKPMARU5000MKP质量流量控制器（MassFlowController）多量程、多气体MARU5000质量流量控制器MARU5000质量流量控制器是严格按照SEMI工艺制造，适用于各类半导体或高纯气体要求的工艺，采用数字通讯回路，便于诊断和实时控制，具有良好的抗腐蚀***，可以使用不同的气体。MKP韩国原装质量流量计优势：通过表面EP处理，产品有***的抗腐蚀性由于UserInterface底盘通讯速度及可能MacID设定模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet,Profibus）MGMR功能（多气体，多量程）产品参数：MARU5000量程范围5sccm-50slm流量测定范围：2%-100%满量程精度：≤&plu***n;0.35%满量程（5%-35%FlowRange）/≤&plu***n;1%读数（35%-100%FlowRange）响应时间：<1sec重复性：≤&plu***n;0.15%满量程正常工作压力：50-300Kpa***大工作压力：450Kpa零点稳定性：<&plu***n;0.5%F.S./年温度系数：0.01%满量程/℃泄漏率：1X10-11Pa.m³/sec（He）阀门类型：常闭密封形式：金属数字接口：RS485，DeviceNet,Profibus信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus电源：+15-24VDC温度范围：5-50℃预热时间：30min材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕmRa）)