洁净室的发展与现代工业、尖i端技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施[1]：（1）对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用***或亚***过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行***后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。（2）根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。（3）有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。无尘车间运行常见故障处理方法一、无尘车间电机电流偏小1.电机皮带断裂或皮带松，需换皮带或张紧皮带2.过滤器损坏有漏洞，需换过滤器二、无尘车间电机电流偏大1.皮带紧或过滤器堵塞，需松开皮带或更换过滤器2.电机或风机轴承故障，需检修轴承三、无尘车间***送风口送风量偏小过滤器堵塞，需换过滤器1.冷水流量不足，需增大冷水流量2.没有冷水，增大新风量(春秋季节)3.采用蒸汽加热，需减小或关闭蒸汽阀门四、无尘车间室内温度低1.新风量过大，需减小新风量2.蒸汽加热量偏小，需加大蒸汽量五、无尘车间室内湿度高1.加热器漏气，需维修加热器2.表冷器冷冻水流量低，需加大冷冻水流量3.若个别房间湿度高，需检查该房间是否有蒸汽泄漏，检查是否有产湿源，排除产湿度4.温度低，需提高温度。六、无尘净化车间尘埃粒子超过标准1.***密封损坏，需重新密封2.***存在漏洞，需更换***3.房间卫生差，需打扫房间及设备七、无尘车间***送风口风速低***送风口堵塞，需更换***八、无尘车间室内温度高)