超高真空泵是指在超高真空规模作业的真空泵。增压泵增压泵通常指作业在低真空泵和高真空泵之间，用以进步抽气体系在中心压强规模的抽气量或下降前级泵抽气速率需求的真空泵。真空泵两个***主要的要素：一、流量：是决议商品的巨细，流量需求愈高，商品体积相对愈大，所需配用的电机功率亦会愈高；二、真空度：是决议商品选用何种布局，真空度是有表压及肯定压力这两种读数。旋片式真空泵能够抽除密封容器中的枯燥气体，若附有气镇设备，还能够抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。旋片式真空泵是真空技术中***根本的真空取得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在布局大将两个单级泵串联起来。通常多做成双级的，以取得较高的真空度。)