
磁控溅射镀膜机-镀膜机-至成真空镀膜设备
真空镀膜设备选购要点分析真空镀膜设备选购要点分析如下:1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3、夹具运转形式有自转、公转及公转自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。5、根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。8、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。9、完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。多片式比较片装置的设计特点1)固定筒圆筒形状、大直径、厚壁结构的设计和周向对称的固定方式,可保证其有足够的强度和刚度,同时,还可阻止高温溅射磨料对其内部零部件污染,保证拨动盘转动的灵活性。2)圆形轴承座的设计,保证轴承座安装的密封性和垂直度;增大轴的直径尺寸,加大轴承座中两轴承的安装间距,提高其自身的强度和刚度,保证转动过程中轴1的刚度和拨动盘的旋转灵活性、位置重复的一致性。3)装载换位机构,通过扩大支承盘的直径,使该机构在平面方向的有效面积增大,可安装直径大(Φ26.5mm)的比较片,有利于光路调整,提高光学薄膜质量;比较片由单片玻璃作为一个比较片单元,比较片采用空间立体叠加安装方式,多片玻璃叠加安装在一个比较片存储筒内,实现一次可放置50~100片比较片,解决镀膜机镀制多层精密光学薄膜,比较片数量少影响镀膜层数和精度的问题。4)***盘与槽型光藕的配合,通过槽型光藕来感知***盘上三个均分的120°狭缝,控制电机转动停止。轴1旋转***重复的一致性得到保证,带动拨动盘完成准确的拨片动作。5)转动密封馈入机构引入威尔逊密封机构,既保证电机通过齿轮啮合带动轴的灵活转动,又保证真空室对外部的密封作用。优化设计的真空镀膜机多片式比较片装置,其特点:(1)结构简单,强度高,可靠性好;(2)比较片装载数量大,生产效率提高,可镀制超多层精密光学薄膜;(3)比较片直径增大,提高薄膜监控的精度,降低对硬件系统的要求,系统容易实现自动控制;真空镀膜机为塑料件镀膜时抽真空时间长的原因真空镀膜机是在真空室中利用电阻加热法,将紧贴在电阻丝上的金属丝熔融汽化,汽化了的金属分子沉积于基片上,而获得光滑反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。获得价廉物美的塑料件表面装饰的理想设备,任意底色的塑料经车灯镀膜机后皆可镀成金属薄膜、七彩膜、仿金膜等,具有提高产品档次、外观更显华贵作用。广泛应用于塑料(ABS、APS、PU、PS、PP、PVC、PC)、尼龙、陶瓷、树脂、玻璃等材料的玩具、饰物、工艺品、手机壳、电子产品、灯饰配件、化妆包装等行业。真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是塑料产品的放气量太大或真空室有漏气现象:1、真空室有漏气现象:大家都知道,多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;2、即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量大,所以抽真空,溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。)