
Aerotech ANT95系列纳米精度***平台
供应AerotechANT95系列纳米精度***平台详细介绍AerotechANT-95系列气浮轴承直驱直线运动平台,拥有超高精度的***功能,精度在0.2~0.5um之间。ant95系列***平台优点:?几何性能***的气浮导轨?1.2mx1.2m的行程?光柵尺或激光回馈干涉仪?分辨率1nm?重复***精度50nm?亚微米***精度?XY和XYZ集成系统?无槽直接驱动电动机同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台,比如pro系列,ABL系列等等。型号包括:ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50SANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50SANT95-50-10-NC-LT06AS-SINGLE-C50S高控科技张巨鹏1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8)