供应AerotechABL系列气浮精密***平台详细介绍AerotechABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超高精度的***功能，精度在0.2~0.5um之间。设计特点·专为高性能扫描和检查而设计·所有空气轴承表面上的有效空气预载·线性编码器反馈提供亚纳米分辨率·高刚性，可承受重载，并具有出色的几何性能·行程达500毫米前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的***公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承***系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力，极高的刚度和出色的几何特性，专门为满足这些需求而设计。空气轴承设计，实现高动态性能ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏载。专有的制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提高性能。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生出色的螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。直线电机驱动此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了***的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。零维护我们的完全非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的高性能水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，所以随着时间的流逝，ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的，并且由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和***应用的理想选择。电缆管理我们精心优化电缆弯曲半径，以确保多年无故障运行。万一发生故障，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便，停机时间***少。我们将所有客户要求的电缆，空气软管等都包含在CMS***包中，以便于集成到***终系统中。两端完全连接，可轻松集成到客户的机器中。技术指标机械规格模型ABL1500-050ABL1500-100ABL1500-200旅行50毫米100毫米200毫米准确性（1）E1已校准&plu***n;0.3微米&plu***n;0.3微米&plu***n;0.5微米标准&plu***n;2.0微米&plu***n;4.0微米&plu***n;8.0微米E3已校准&plu***n;0.2微米&plu***n;0.2微米&plu***n;0.4微米标准&plu***n;1.0微米&plu***n;2.0微米&plu***n;5.0微米重复性（双向）（1）E1&plu***n;0.1微米&plu***n;0.2微米E3&plu***n;0.05微米&plu***n;0.05微米&plu***n;0.1微米直线度（1）&plu***n;0.25微米&plu***n;0.4微米&plu***n;0.5微米平面度（1）&plu***n;0.25微米&plu***n;0.4微米&plu***n;0.5微米沥青&plu***n;0.5弧秒&plu***n;1弧秒&plu***n;2弧秒滚&plu***n;0.5弧秒&plu***n;1弧秒&plu***n;2弧秒偏航&plu***n;0.5弧秒&plu***n;1弧秒&plu***n;2弧秒速度2m/秒加速度2克（空载）力（连续）93.6N载重量（2）卧式35公斤侧25公斤运营压力80psi&plu***n;5psig耗气量24-30SLPM@551kPa（0.85-1.06SCFM@5.51巴）移动质量（空载）5.1公斤舞台质量14.7公斤16.0公斤18.6公斤材料铝MTBF（平均无故障时间）30,000小时·通过每个阶段的认证。·列出了轴上加载的轴方向。·规格适用于在桌面上方25mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。·为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。·供气必须清洁，干燥至0°F***并过滤至0.25?m或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。·对于XY配置，上轴行程为200mm。如果上轴行程大于200mm但等于或小于500mm，则需要ABL1500WB作为下轴。模型ABL1500-300ABL1500-400ABL1500-500旅行300毫米400毫米500毫米准确性（1）E1已校准&plu***n;0.5微米&plu***n;0.6微米&plu***n;0.6微米标准&plu***n;12.0微米&plu***n;16.0微米&plu***n;20.0微米E3已校准&plu***n;0.4微米&plu***n;0.5微米&plu***n;0.5微米标准&plu***n;5.0微米&plu***n;5.0微米&plu***n;5.0微米重复性（双向）（1）E1&plu***n;0.2微米&plu***n;0.3微米E3&plu***n;0.15微米&plu***n;0.2微米直线度（1）&plu***n;0.75微米&plu***n;1.5微米&plu***n;2.0微米平面度（1）&plu***n;0.75微米&plu***n;1.5微米&plu***n;2.0微米沥青&plu***n;3弧秒&plu***n;4弧秒&plu***n;5弧秒滚&plu***n;3弧秒&plu***n;4弧秒&plu***n;5弧秒偏航&plu***n;3弧秒&plu***n;4弧秒&plu***n;5弧秒速度2m/秒加速度2克（空载）力（连续）93.6N载重量（2）卧式35公斤侧25公斤运营压力80psi&plu***n;5psig耗气量24-30SLPM@551kPa（0.85-1.06SCFM@5.51巴）移动质量（空载）5.1公斤舞台质量21.3公斤23.9公斤26.5公斤材料铝MTBF（平均无故障时间）30,000小时·通过每个阶段的认证。·列出了轴上加载的轴方向。·规格适用于在桌面上方25mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。·为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。·供气必须清洁，干燥至0°F***并过滤至0.25?m或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。·对于XY配置，上轴行程为200mm。如果上轴行程大于200mm但等于或小于500mm，则需要ABL1500WB作为下轴。ABL系列***平台优点：?几何性能***的气浮导轨?1.2mx1.2m的行程?光柵尺或激光回馈干涉仪?亚微米***精度?XY和XYZ集成系统?无槽直接驱动电动机同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如pro系列，ANT95系列等等。高控科技张巨鹏1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8)