AerotechQNP系列压电纳米***平台详细介绍AerotechQNP系列压电纳米***平台关键词：纳米***平台/压电平台/压电纳米***台QNP系列压电纳米***平台以紧凑，高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。紧凑包装中的高质量QNP压电平台受精密挠曲的指导，该挠曲使用有限元分析进行了优化，以确保高刚度和较长的设备寿命。***终的设计提供了出色的刚度和谐振频率，从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外，集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量，从而实现了出色的静态和动态多轴性能。高分辨率和***精度所有QNP压电级均采用独特的电容传感器设计，提供闭环反馈选项，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量***滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。超精密控制与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米***台具有亚纳米级的***分辨率和就位稳定性（抖动）以及高***带宽。QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级***分辨率，但又不需要***精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济***的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与转接板一起安装。所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。设计特点·行程范围从100μm到600μm·设备寿命长·高精度，无摩擦的挠性导向系统·借助直接计量电容传感器，可实现高达0.007％的出色***分辨率和线性度·与其他QNP系列压电纳米***器的安装兼容性·开环和真空版本ModelQNP40XY-100QNP50XY-250QNP60XY-500Closed-LoopTr***el100?m250?m500?mOpen-LoopTr***el,-30to+150V(1)120?m300?m600?mResolution(2)Closed-Loop0.30nm0.50nm0.90nmOpen-Loop0.15nm0.20nm0.40nmLinearity(3,4)0.01%0.01%0.007%BidirectionalRepeatability(5)2nm2nm5nmPitch/Yaw6?rad(1.2arcsec)6?rad(1.2arcsec)12?rad(2.5arcsec)Stiffness(DirectionofMotion)(6)1.05N/?m0.36N/?m0.24N/?mUnloadedResonantFrequency(6)TopAxis885Hz445Hz315HzBottomAxis635Hz295Hz200HzResonantFrequency(50gramload)(6)TopAxis495Hz305Hz240HzBottomAxis335Hz240Hz170HzMaximumAcceleration(Unloaded)(7)TopAxis600m/s2370m/s2210m/s2BottomAxis320m/s2160m/s290m/s2MovingMass(Unloaded)TopAxis42g56g98gBottomAxis79g126g217gMaxPayload(8)1kg1kg1kgStageMass0.11kg0.17kg0.27kgMaterialAnodizedAluminum(9)MTBF(MeanTimeBetweenFailure)30,000HoursQNP-Z压电纳米***平台可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级***分辨率，但又不需要***精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济***的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台，其中公共行程与转接板一起安装。机械规格（1）模型QNP40Z-100QNP50Z-250QNP60Z-500闭环旅行100微米250微米500微米开环行程，-30至+150V（2）140微米300微米600微米解析度（3）闭环0.30海里0.50海里0.90海里开环0.15纳米0.20海里0.40纳米线性度（4,5）0.01%0.01%0.007%双向重复能力（6）1纳米1纳米3纳米俯仰/滚动/偏航15微弧度（3弧秒）25微弧度（5弧秒）39微弧度（8弧秒）刚度（在运动方向上）（7）0.96N/微米0.40N/微米0.42N/微米空载谐振频率（7）1050赫兹510赫兹310赫兹共振频率（50克负载）（7）620赫兹340赫兹260赫兹加速度（空载）（8）530m/s2260m/s2220m/s2移动质量53克83克234克有效载荷（7）1公斤0.8公斤1公斤舞台质量0.08公斤0.13公斤0.31公斤材料阳极氧化铝（10）MTBF（平均无故障时间）30,000小时高控科技张巨鹏1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8)