净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，无尘室设备，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。光学微电子行业净化工程设计方案分析：对于常规电子厂房洁净室空调的设计，无尘室设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初***低的，云浮无尘室，可以选用柜机FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。净化工程解决方案：大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，无尘室工程，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿(因为夏季室外空气是高温、高湿的)，冬季要加热加湿(因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的)。昆山清阳净化系统工程(图)-无尘室设备-云浮无尘室由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司（.cn）是江苏苏州,其它的翘楚，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在清阳净化系统工程***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创清阳净化系统工程更加美好的未来。)