设备简介该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。1.加热系统***高温度1200℃使用温度≤1100℃炉膛有效尺寸Φ150mm（炉管直径可根据实际需要定制。）炉膛材料氧化铝、高温纤维制品热电偶类型K型热电偶控温精度&plu***n;1℃控温方式30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。加热长度200+200+200mm加热原件电阻丝供电电源单相，220V，50Hz2、PE系统功率输出范围0W~1000W***大反射功率200W射频输出接口50Ω,N-type,female功率稳定度≤5W谐波分量≤-50dbc供电电压单相交流（187V-253V）频率50/60HZ整机效率>=70%功率因素>=90%冷却方式强制风冷3、三路质子流量控制系统连接头类型双卡套不锈钢接头标准量程（N2)200sccm，500sccm、1000sccm（可根据用户要求定制）准确度&plu***n;1.5%F.S线性&plu***n;1%F.S重复精度&plu***n;0.2%F.S响应时间气特性：1～4Sec，电特性：10Sec工作压差范围0.1～0.5MPa***大压力3MPa接口Φ6,1/4''显示4位数字显示工作环境温度5~45高纯气体压力真空表－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格截止阀Φ6内外双抛不锈钢管Φ64、低真空机组空气相对湿度≤85%工作环境5℃～40℃工作电电压380V抽气速率32m³/h极限真空5X10-1Pa（空载冷态）工作压力范围1.01325X105～1.33X10-2Pa进气口口径KF40排气口口径KF40连接方式采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连)