
拉奇纳米(图)-小型气相沉积设备-气相沉积设备
气相沉积设备工艺特点(1)广泛应用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料等。(2)在产量方面,从单件到大批量皆可。(3)有质量优势,沉积温度低,薄膜成份易控,膜厚与淀积时间成正比,气相沉积设备价格,均匀性,重复性好,台阶覆盖性优良。(4)工具涂层的生产效率不如PVD,具体取决于特定技术要求和辅助工艺。化学气相沉积曾是真空技术广泛用于陶瓷沉积的种技术,特别是对工具涂层更是这样。镀膜机工艺在太阳能运用方面的运用当需求有用地运用太阳热能时,就要思考选用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所导致的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20μm之间的红外波段。PCVD的工艺装置由沉积室、反应物输送系统、放电电源、真空系统及检测系统组成。气源需用气体净化器除往水分和其它杂质,气相沉积设备,经调节装置得到所需要的流量,再与源物质同时被送进沉积室,在一定温度和等离子体等条件下,得到所需的产物,并沉积在工件或基片表面。所以,PCVD工艺既包括等离子体物理过程,又包括等离子体化学反应过程。磁控溅射:在真空环境下,通过电压和磁场的共同作用,以被离化的惰性气体离子对靶材进行轰击,致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹出并沉积在基件上形成薄膜。根据使用的电离电源的不同,导体和非导体材料均可作为靶材被溅射。离子束DLC:碳氢气体在离子源中被离化成等离子体,气相沉积设备厂家,在电磁场的共同作用下,离子源释放出碳离子。离子束能量通过调整加在等离子体上的电压来控制。碳氢离子束被引到基片上,沉积速度与离子电流密度成正比。星弧涂层的离子束源采用高电压,因而离子能量更大,使得薄膜与基片结合力很好;离子电流更大,使得DLC膜的沉积速度更快。离子束技术的主要优点在于可沉积超薄及多层结构,工艺控制精度可达几个埃,并可将工艺过程中的颗料污染所带来的缺陷降至。拉奇纳米(图)-小型气相沉积设备-气相沉积设备由东莞拉奇纳米科技有限公司提供。东莞拉奇纳米科技有限公司()实力雄厚,信誉可靠,在广东东莞的机械加工等行业积累了大批忠诚的客户。公司精益求精的工作态度和不断的完善创新理念将***拉奇纳米和您携手步入辉煌,共创美好未来!)