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随着市场和研究人员的要求,随着基于传统工艺的新系统的出现,气相沉积设备厂家,新的涂料性能得到了发展。即使通过蒸发工艺获得的沉积速率是理想的,气相沉积设备价格,但事实是,溅射沉积技术在质量和沉积速率方面取得了无疑的进步,响应了对此领域感兴趣的行业和研究人员的需求,甚至用作中间层,用于通过化学气相沉积(CVD)获得的其他涂层。CVD是另一种在真空下沉积的方法,气相沉积设备,并且是使待沉积材料中的挥发性化合物与其他气体发生化学反应的过程,以产生沉积在基材上的非挥发性固体。气相沉积设备PCVD工艺具有广泛的用途。(1)超硬膜的应用(TiN、TiC、TiCN、(TiAl)N、C-BN等)PCVD法宜于在外形复杂、面积大的工件上获得超硬膜,沉积速率可达4~10μm/h,硬度大于2000HV,绕镀性好,工件不需旋转就可得到均匀的镀层。大量应用于切削刀具、磨具和耐磨零件。(2)半导体元件上尽缘膜的形成过往半导体元件上的尽缘膜大多用SiO2,现在用SiN4H2用PCVD法来形成Si3N4,气相沉积设备厂商,Si3N4的尽缘性、性、耐酸性、耐碱性,比SiO2强,从电性能及其掺杂效率来讲都是的,特别是当前的高速元件GaAs尽缘膜的形成,高温处理是不可能的,只能在低温下用等离子法进行沉积。多弧离子PVD镀膜设备腔体结构:立式前开门,卧式前开门,后置真空获得系统材质用料:腔体采用优质SUS304不锈钢材质离子弧源:依据设备大小不同配备多套弧电源系统偏压电源:配备大功率单级脉冲偏压电源多弧靶材:标配多套钛靶或不锈钢靶材转动系统:变频调速,公自转结合,可采用上传动或下传动方式真空系统(装饰镀膜设备Decorativecoating):扩散泵(可选分子泵)罗茨泵机械泵维持泵深冷系统(可选)气相沉积设备厂商-气相沉积设备-拉奇纳米镀膜设备由东莞拉奇纳米科技有限公司提供。气相沉积设备厂商-气相沉积设备-拉奇纳米镀膜设备是东莞拉奇纳米科技有限公司()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:郭先生。)
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