一、brooks气体质量流量计概览Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界一的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种***场所。二、brooks气体质量流量计产品特点·较低的泄漏率·结构紧凑·内螺纹排气口抛光处理·常闭阀·对安装位置不敏感三、brooks气体质量流量计技术参数·数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器·介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体·流量范围:0.03-100slpm·量程比：50:1·***大工作压力:1500psi(10.432Mpa)·气路接头:1/4"VCR或1/4"SWG·电气接头:15PinsD-Type或Card-edge·精度:&plu***n;1%FS·重复性：0.25%ofrate·响应时间：1-3s·差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）·操作温度范围：5~65℃·输出信号：0-5VDC或4-20mA·电源：+/-15Vhttp:///SonList-mlhttp:///st102580/erlist_mlBROOKSSLA5851S质量流量计)