昭明净化机电高技术-百级无尘室-无尘室
什么叫无尘室无尘室也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,所特别设计的房间。即是不论外面的空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性.昭明净化机电,多年行业经验,***设计团队,高素质施工人员,品质高,***服务完善,欢迎咨询。怎么控制无尘室的污染?洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。无尘室净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。想了解更多相关信息,可以咨询昭明净化机电工程有限公司,谢谢!无尘室净化工程设计要点无尘室空调系统的选择、无尘室洁净度与换气次数,厂房结构布局设计方案确定,施工材料质量的选用,室内送风压力和气流控制,添加辅助检测设备以保证控制参数的稳定,控制人和物的流动及处理以达到无尘室的洁净要求,提供照明及给排水等装置,这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计,同时不得有悖于空气净化系统,要确定设计方案,必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑,发尘量大的车间不宜采用地面送风形式,洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。昭明净化无尘车间建设***为您量身设计打造你满意的方案。)
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