复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。小扒头：清扫面积相对较小时，工厂无尘室设备***多少钱，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒伸缩杆：增大清扫范围领域。软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到第1过滤系统。集尘袋：洁净室吸尘器的第1过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和***过滤器有重要作用。电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。***过滤器：***过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是***后一个环节，***过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。并装局部无尘室（CleanSpot）：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。常州工厂无尘室设备***多少钱「在线咨询」由苏州卓宇泰起重设备安装有限公司提供。苏州卓宇泰起重设备安装有限公司（）是江苏苏州,特种运输的翘楚，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在卓宇泰***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创卓宇泰更加美好的未来。)