钟罩式晶体生长炉
本设备采用分体模块化设计,采用钟罩升降结构,炉盖炉体可单独升降打开,炉体,真空系统,电控系统分别模块化式设计,现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来,不用每样都分别拆分组装,安装方便快捷,布局整洁大方。·主要技术参数1.***高加热温度:2000℃2.功率:60Kw&plu***n;10%单相整流2.冷态极限真空度:≤5×10E-3Pa3.压升率:≤2Pa/h4.炉体尺寸:Ф750×1000mm(直径×高)5.测温系统:热电偶6.控温精度:&plu***n;0.1℃,采用欧陆温控仪表7.加热区:一区8.坩埚升降参数:位移行程200mm慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)精度&plu***n;0.01mm快速升降50-200mm/min(伺服控制)9·炉内充气压力:≤0.05MPa10·充放气系统:两路(一路采用电磁阀充放气,一路预留充放气接口)结构组成1、炉盖2、炉体3、钟罩升降装置4、发热体和隔热屏5、真空系统6、温控系统7、整流变压器及联接电缆8、冷却水分配系统9、坩埚升降系统10、炉盖升降装置构成套供应范围1.壳体(炉盖、炉体和炉底)1套2.钟罩升降系统1套3.整流变压器1台4.热电偶(钨铼热偶)2支5.控制系统1套6.汇流水管1套7.安全装置1套8、炉盖升降装置1套9、坩埚升降系统1套10、真空系统1套11·发热体及隔热屏1套12、说明书及技术资料1份)