设备简介感应区熔及晶体生长装置主要包含两种功能，一种用于材料的熔化提纯，一种用于材料的定向凝固。二、主要技术参数：1、*高温度：1650℃2、线圈升降行程：150毫米，采用伺服电机驱动，升降速度可调节，分为快速和慢速3、坩埚升降行程：150毫米，采用伺服电机驱动，升降速度可调节，分为快速和慢速4、石墨坩埚尺寸：φ40*60㎜5、感应电源振荡功率：15KW，电源电压380V采用钨铼热偶监测温度，通过电流调节温度可抽真空与充保护气氛结构简介感应区熔及晶体生长装置主要由感应加热装置，坩埚及保温装置、密封石英管装置、区熔装置、定向凝固装置、真空装置、保护气氛装置、测温装置、支架及操作台装置与可视化控制系统组成。感应加热装置：由一台振荡功率15kW，振荡频率30-80kHZ的高频电源提供感应加热坩埚及保温装置：由一只石墨坩埚，一种石英陶瓷保温套、氮化硼保温底座和保温盖组成，保证传输到石英管的温度低于800℃；保温盖开有观察孔，可观察到熔液状态。密封石英管装置：由一根石英管，两套密封法兰组成，采用硅胶密封圈密封，局部带水冷，密封法兰上带各种接口，方便其他装置接入。区熔装置：由伺服电机、减速机、线性模组和连接块组成，带动线圈沿着石英管上下移动，速度可调节，实现区熔目的。定向凝固装置：从石英管底部密封法兰处引入，带动密封结构，留有热偶接口，由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的，实现定向凝固功能。保护气氛装置：石英管底部密封法兰留有充气接口，带阀门和进气接口，石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门，并装有安全阀，防止气压过高损坏元件测温装置：从定向凝固移动管中接入，可直接跟石墨坩埚接触，测量石墨坩埚温度，并能根据温度手动调节高频电源的输出功率。支架及操作台装置：采用型材与板材拼接而成，人性化设计，操作方便，占地空间小。可视化控制系统：采用PLC+触摸屏控制整套系统，实现可视化操作，操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并***到PC端，方便用户调整工艺数据。)