超精密气浮转台、机械转台更多产品信息请联系应用工程师：张陈185-1855-8688ABRT精密气浮转台•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达•无顿转(Zerocogging)伺服马达以提供之速度稳定性•误差运动(ErrorMotion)与偏转(Runout)特性•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)•大尺寸中空口径•完全无机械接触ABRT系列空气轴承旋转平台提供角度位置精度，速度稳定性，与误差运动规格，同时维持大负载能力与轴向与径向刚性。ABRT可达到DVD刻板(DVDmastering)，晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电/奈米装置生产之各种严苛要求。2.ABRS精密气浮转台•直接驱动无槽，无刷伺服马达•无顿转(Zerocogging)伺服马达以提供之速度稳定性•误差运动(ErrorMotion)与摆动(Wobble)特性•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)•平面式设计，降低平台高度•完全无机械接触ABRS系列空气轴承旋转平台提供角度精度，速度稳定性，与误差运动规格同时维持的平台整体高度。ABRS可达到晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电/奈米装置生产之各种严苛要求。ABRS之特殊设计能够将平台高度降到低。3.ADRT精密转台•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达•无顿转(Zerocogging)伺服马达以提供之速度稳定性•误差运动(ErrorMotion)与偏转(Runout)特性•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)•大尺寸中空口径ADRT系列机械轴承直驱旋转平台提供角度精度与速度稳定性，适用于取放设备，高速雷射加工，高精度晶圆检测等。大尺寸双轴承提供高的性能并维持摆动(Wobble)，侧向刚性，与重複精度。大尺寸之轴承提供高负载并维持高性能。4.ADRS精密转台•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达•无顿转(Zerocogging)伺服马达以提供之速度稳定性•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)•平台高度降低工作高度更多产品信息请联系应用工程师：张陈185-1855-8688在这只是介绍了几款转台的代表，更多的产品系列及参数请联系应用工程师：张陈185-1855-8688。)