电子工业废气排放风量大，浓度低。以半导体制造为例，废气处理设备公司，其工艺过程中有机废气排放流量大于10000m3/h，浓度低于25ppmv，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体。针对电子行业VOCS排放特点，结合电子工业废气VOCS治理新技术，对电子终端产品企业，多采用活性炭吸附，整机机壳表面喷涂再增加除漆雾装置；特别是半导体企业，有机废气处理一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体，治理技术多采用组合方式，前端通过喷淋塔淋洗，废气处理设备采购，再经VOCS废气处理催化燃烧装置【沸石转轮吸附浓缩催化燃烧】，VOCS去除率可达到98%。各企业生产过程中会排放大量的有机废气，其中含废气的排放是非常多见的。对于含废气的处理，采用***多的方法是活性炭吸附。传统的活性炭吸附工艺多采用普通固定单层吸附装置，使用的吸附剂多为颗粒活性炭，不仅吸附回收率低，而且设备使用寿命短，***和运行费用高，废气处理设备价格，经济效益低。我们结合某药厂200t/a精奎禾灵生产中的咪鲜胺化脱水咪鲜铵锰盐压滤工序排放的含废气的处理实践，介绍一种利用活性炭纤维吸附装置处理含废气的工艺。该工艺采用独特的吸附装置和操作，用活性炭纤维做吸附剂，使的吸附效率达97%以上。该装置采用全自动控制，运行可靠。废气成分及处理要求该废气中含有氮、氧、二氧化碳及少量水蒸汽，其中的质量浓度为200g/m3。废气流量为200m3/h，排气温度为30℃，排气压力为101.3kPa。要求的吸附效率大于95%。常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，废气处理设备，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生***。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。)