1.BK-VT型抗微振平台主要由不锈钢台面和减振系统组成，减振系统包括支腿、气浮式减振装置、限位装置、万向调节脚组成。2.BK-VT型抗微振平台自振频率低、隔振效果好，且X,Y,Z,三个方向均能起到隔振、减振作用，从而使精密仪器在地面微震条件下正常工作。3.不锈钢板的设计，整洁美观，整个减振台安装、拆卸、移动都很方便。光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种，精度为七纳米至几微米之间，***光刻机是***精密的仪器，对振动的要求非常高。瑞典VMIviber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准，VC微振动标准分为：VC-A、VC-B、VC-C、VC-D、VC-E、VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D6.25um/sRMS以下。******知名的光刻机制造商荷兰A***L要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机，某知名半导体制造商使用瑞典VMIviber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集，发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/sRMS，无法满足CV-D6.25um/sRMS。通过瑞典VMIviber-x5振动分析仪的频谱分析功能，发现了振动超标的频率并成功找到振动源，经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。如需其他尺寸型号可定制)