EDC系统具有可编程阀，它可以使单***滴胶按照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，刻蚀清洗台，如冲洗（通常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等后面的处理步骤。蚀刻/显影/清洗***系统采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在完全干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和***的给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。化学清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，晶圆清洗机，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。在现有的清洗技术中通过使用兆声清洗来提高清洗产品的质量，由于硅片的生产的相关要求，其兆声的施加方式通常是使用装有超声波槽通过水的传导将兆声震动传导至清洗槽，但此流程在现有技术中存在一定的问题，由于不同的清洗槽在进行清洗处理时均处于一个高于常温状态的温度(以边缘抛光后清洗的sc-1槽为例，清洗硅片时温度为78℃。(2)不供油如果是不供油，则要检查油泵是否在正常工作，打开回油管，盐城清洗，查看回油管内是否有正常的油回出，如果有油回出则可判定是供油电磁阀没有工作。解决方法是用万用表量一下电磁阀是否损坏(一般为24Ω左右)，如果电磁阀损坏则更换电磁阀；如没有损坏，就需要检查它是否接收到电压信号；如没有电压信号，则可判定为电路故障，这时要从温控到压力开关、流量阀、油位开关逐一检查，SC-1清洗设备，哪里不通即可判定故障所在位置，修复即可解决。如无正常回油则可判定是油泵损坏，更换或修复即可)