TDS-XY系列TDS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能，支持长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线，是半导体行业的理想选择。设计特点：A.下轴使用三根导轨，支持长行程的上轴B.使用定制的带气管紧凑排线应用与行业这种多轴位移台适用于高速机械，例如拾取和放置，检查，分配，检查设备或任何其他对精度要求严格的材料处理或一般工业应用，包括印刷，激光打标，机械加工和点焊。性能参数单位LU有效行程mm500500额定负载Kg20空载运动质量Kg407加大速度m/s21010速度m/s11电机型号-AUM5-S3AUM4-S3持续推力N295166峰值推力N2122936编码器参数μm0.05/0.5/SINCOS0.05/0.5/SINCOS小机械步长μm0.50.5重复***精度μm±1.0±1.0***精度μm±10.0±10.0直线度μm±10.0±10.0平面度μm±10.0±10.0横摆角arcsec±10.0±10.0俯仰角arcsec±10.0±10.0正交性arcsec10.0空载平台总质量Kg350注：1.此参数表是此种类型平台的典型值。2.请联系我们获取更多选项。)