半导体接触角测试仪晶圆半导体接触角仪电路板接触角测试仪SGC-B3Y200自动接触角测量仪技术资料一．主机图片：二．功能概述：本接触角测量仪特别订制的圆形样品台专用于晶圆（Wafer）样品的测试。通过测试液滴在晶圆样品表面形成接触角的大小，来检测其表面的洁净程度和评估表面处理的工艺效果。三．技术指标：技术项目功能指标1．接触角测量1-1．分析算法：量高法、量角法、圆环法、椭圆法、切线法、Y-L法1-2．具有左接触角、右接触角和平均接触角分开测试和比较功能1-3．具有凹面、凸面、弧面、超亲水、超疏水等特殊表面分析功能1-4．具有不规则形、非轴对称本征接触角的分析功能1-5．具有自动分析接触角变化过程的批处理测试功能1-6．测量范围：0°～180°1-7．测量精度：±0.1°1-8．提供标定块，可随时对测量精度进行校准1-9．测量分辨率：0.001°2．表面/界面张力测量2-1．分析算法：手动法、自动法2-2．测量范围：0.01～2000mN/m2-3．测量精度：±0.1%2-4．测量分辨率：0.001mN/m3．表面能估算3-1．估算模型：Fowkes、扩展Fowkes、Owens-Wendt、vanOSS、Wu调和平均法、状态方程法3-2．可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、路易斯酸分量、路易斯碱分量等3-3．液体数据库：预置37种常用液体表面张力及其分量数据，数据可直接调入用于表面能估算3-4．液体库数据可自行添加、删除和修改4．润湿性分析4-1．通过液体的表面张力和对固体的接触角可分析该固体的润湿程度，包括粘附功、铺展系数和粘附张力5．数据管理5-1．通过试验模板保存试验信息、试验数据和图片5-2．新建的试验模板保存后可重复调入使用5-3．可对试验数据进行修改、删除和调入再分析等5-4．试验数据可标注于图片上，并随图片一起保存5-5．试验结果可导出至Word、Excel和PDF6．图像拍摄6-1．单张拍摄、连续拍摄、视频录制和图片回放6-2．可选择采用相机外觖发功能自动拍摄7．光学成像系统7-1．相机：300万像素、帧率36帧/秒7-2．镜头：0.7～4.5×连续变倍、工作距离195mm7-3．调焦范围：±12.5mm；调焦精度：0.25mm7-4．调焦时软件自动检测清晰度，消除人为误差7-5．水平和俯仰调整范围：±2°7-6．背光源：LED冷光源+遮光板，亮度无极调节8．滴液系统8-1．滴液方式：软件控制进样器自动滴液和自动升降8-2．***小滴液量：0.1μl/滴8-3．滴液精度：±0.05μl9．样品台9-1．台面尺寸：Ø200mm9-2．移动行程：X轴=200mm；Y轴=300mm；Z轴=50mm；θZ轴=360°9-3．移动方式：手动旋钮控制三维移动***