内蒙古自治高纯供气生产厂家「多图」
高纯气体的输送管路系统随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,高纯供气生产厂家,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求。本信息由艾明坷为您提供,如果您想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询,艾明坷竭诚为您服务!高纯供气系统供气系统材料选择的基本原则是:一是不宜用非金属材料,二是材料不吸附气体、不产生气体,三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管,当输送气体的纯度≥99.99%时,管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管;管道与设备的连接段宜采用金属管道,如选用非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管,不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品,不得使用替代品。其它部件的选择应给出设计建议,如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料,其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料;管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定;管道固定件(管夹)应采用耐高温的金属材料,且坚固、轻巧、耐用。大宗特气供气系统介绍大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的***规模巨大,采用1***的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。艾明坷科技有限公司主营手套箱,如需了解更多详情,欢迎与我们交流!内蒙古自治高纯供气生产厂家「多图」由艾明坷科技(北京)有限公司提供。艾明坷科技(北京)有限公司是从事“手套箱,溶剂净化”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:张女士。)
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