一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，湿法，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，该防喷溅装置包含一屏蔽单元及一驱动机构。屏蔽单元包括一顶端，屏蔽单元可相对于晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换。在收合状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一距离，在展开状态时，湿法清洗台，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一第二距离，第二距离大于距离。驱动机构与屏蔽单元相连接用以驱动屏蔽单元在收合状态及展开状态之间变换。借此，湿法清洗设备，可将清洗液喷溅的范围限制在屏蔽单元内，以防止清洗液喷溅至其它物件。(2)不供油如果是不供油，则要检查油泵是否在正常工作，打开回油管，查看回油管内是否有正常的油回出，如果有油回出则可判定是供油电磁阀没有工作。解决方法是用万用表量一下电磁阀是否损坏(一般为24Ω左右)，如果电磁阀损坏则更换电磁阀；如没有损坏，就需要检查它是否接收到电压信号；如没有电压信号，则可判定为电路故障，这时要从温控到压力开关、流量阀、油位开关逐一检查，哪里不通即可判定故障所在位置，修复即可解决。如无正常回油则可判定是油泵损坏，更换或修复即可半导体清洗机其产品广泛用于电镀、半导体、制药、化工、饮料、眼镜、五金、珠宝等、铭牌等行业.***生产供应:★晶片清洗机，硅片清洗机，湿法设备，工装清洗机，半导体清洗工艺设备，LED硅片清洗设备，太阳能硅片清洗机，清洗机，液晶玻璃清洗机，光刻清洗台，SPM去胶清洗机，镀镍抛光清洗台，烧结化清洗机，磨角腐蚀清洗机，去磷硅玻璃清洗机，扩散化清洗机，炉管清洗机，超声波清洗机，清洗台，各式石英管清洗机，硅片甩干机等各式清洗机，甩干机及配件.湿法清洗台-湿法-晶淼半导体清洗机由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。苏州晶淼半导体设备有限公司是江苏苏州,清洗、清理设备的见证者，多年来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，满足客户需求。在苏州晶淼半导体***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈，共创苏州晶淼半导体更加美好的未来。)