洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，洁净室，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。光学微电子净化工程解决方案:3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，洁净室设备，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。无尘室温湿度波动大是不是和SCR有关系？判断物品是否可以带进无尘室，主要依据是该物品的发尘量，是否持续发尘，洁净室设计，以及是否容易附着灰尘。工具箱一般是金属或塑料质地，百级洁净室，擦拭干净后发尘量并不大，也不容易附着灰尘，所以一般是可以带进的。当然具体情况还要看各个使用部门的规定，以及无尘室的级别。如果级别比较高的无尘室，应该也是不可以的。级别低的无尘室可以带入，但也应该在使用完毕后及时带出。百级洁净室-洁净室-清阳净化系统工程(查看)由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司是从事“净化工程,,无尘车间施工,无尘室工程以及暖通空调工程”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：蔡总。)