复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，无尘室设备***安装方案，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可***此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。发菌量工作人员产生的污染1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种***。5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。泰州无尘室设备***安装方案「在线咨询」由苏州卓宇泰起重设备安装有限公司提供。苏州卓宇泰起重设备安装有限公司实力不俗，信誉可靠，在江苏苏州的特种运输等行业积累了大批忠诚的客户。卓宇泰带着精益求精的工作态度和不断的完善创新理念和您携手步入辉煌，共创美好未来！)