北京赛米莱德-NR21 20000P光刻胶
光刻胶的应用以下内容由赛米莱德为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。模拟半导体(AnalogSemiconductors)发光二极管(Light-EmittingDiodesLEDs)微机电系统(MicroelectromechanicalSystemsMEMS)太阳能光伏(SolarPhotovoltaicsPV)微流道和生物芯片(Microfluidics&Biochips)光电子器件/光子器件(Optoelectronics/Photonics)封装(Packaging)光刻胶的主要技术参数1.灵敏度(Sensitivity)灵敏度是衡量光刻胶***速度的指标。光刻胶的灵敏度越高,NR2120000P光刻胶公司,所需的***剂量越小。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。2.分辨率(resolution)区别硅片表面相邻图形特征的能力。一般用关键尺寸(CD,NR2120000P光刻胶,CriticalDimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。光刻胶的分辨率是一个综合指标,NR2120000P光刻胶价格,影响该指标的因素通常有如下3个方面:(1)***系统的分辨率。(2)光刻胶的对比度、胶厚、相对分子质量等。一般薄胶容易得到高分辨率图形。(3)前烘、***、显影、后烘等工艺都会影响光刻胶的分辨率。想了解更多关于光刻胶的相关资讯,NR2120000P光刻胶厂家,请持续关注本公司。含硅光刻胶为了避免光刻胶线条的倒塌,线宽越小的光刻工艺,就要求光刻胶的厚度越薄。在20nm技术节点,光刻胶的厚度已经减少到了100nm左右。但是薄光刻胶不能有效的阻挡等离子体对衬底的刻蚀[2]。为此,研发了含Si的光刻胶,这种含Si光刻胶被旋涂在一层较厚的聚合物材料(常被称作Underlayer),其对光是不敏感的。***显影后,利用氧等离子体刻蚀,把光刻胶上的图形转移到Underlayer上,在氧等离子体刻蚀条件下,含Si的光刻胶刻蚀速率远小于Underlayer,具有较高的刻蚀选择性[2]。含有Si的光刻胶是使用分子结构中有Si的有机材料合成的,例如硅氧烷,含Si的树脂等以上就是关于光刻胶的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的***电话!北京赛米莱德-NR2120000P光刻胶由北京赛米莱德贸易有限公司提供。北京赛米莱德-NR2120000P光刻胶是北京赛米莱德贸易有限公司今年新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:苏经理。)
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