半导体设备是芯片加工、制造及封装、测试的载体。因其研发技术难度大，晶圆酸洗，成本高而制约着半导体产业的发展。本文以半导体设备研发过程中出现的铝制腔体水路堵塞、腐蚀问题为研究对象，针对其现象及成因分析进行讨论并找寻解决办法。铝合金因其优良的性能，南通晶圆，广泛应用为半导体设备的腔体材料。材料加工性上，铝合金比不锈钢成本低、重量轻、加工速度快；物理特性上，其具备高导热性、低磁导率和低碳等优点；铝合金无锈、不发尘，对洁净环境无损伤；并能更好的承受清洗、刻蚀等工艺所产生的氟离子侵蚀。刻蚀机作为重要的半导体加工设备之一，在半导体晶圆厂资本开支中占比较高。目前来看，刻蚀机资本开支占比达到22%，已经与光刻机同处在前梯队，而光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备三大设备合计占比高达64%。近年来刻蚀机市场规模有显著提升。湿法刻蚀由于可是方向的不可控性，导致其在高制程很容易降低线宽宽度，甚至***线路本身设计，导致生产芯片品质变差。离子束刻蚀的原理是把惰性气体充入离子源放电室，并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量的离子束进入工作室，晶圆清洗台，射向固体表面，撞击固体表面原子，使材料原子发生溅射，达到刻蚀目的，纯属物理过程。采用离子束对材料表面进行抛光，可使材料表面达到较小粗糙度。清洗槽（也叫酸槽/化学槽），主要有HF，H2SO4，晶圆腐蚀台，H2O2，HCL等酸碱液体按一定比例配置，目的是为了去除杂质，去离子，去原子，后还有DI清洗。IPA是，就是工业酒精，是用来clean机台或parts的，是为了减少partical的。晶淼半导体(图)-晶圆酸洗-南通晶圆由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。苏州晶淼半导体设备有限公司位于苏州工业园区金海路34号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前苏州晶淼半导体在清洗、清理设备中享有良好的声誉。苏州晶淼半导体取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。苏州晶淼半导体全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。)