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光刻机把图案印上去,显影清洗机,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。刻蚀相对光刻要容易。如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,显影腐蚀台,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,张家口显影,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。蚀刻后必须除去丝印油墨。一般的耐酸油墨易溶于碱中。将蚀刻板浸入40~60g/L的溶液中,温度50~80℃,浸渍数分钟即可退去油墨。退除后,如果要求光亮度高,可进行抛光,然后进行染色,染色后为了防止变色及增加耐磨、耐蚀性,可以喷涂透明光漆。对于一些金属本身是耐蚀性能好而且不染色的,也可以不涂透明漆,要根据实际需要而定。干法刻蚀有化学反应、物理去除以及化学物理混合去除三种方式,性能各有优劣。其中,物理性刻蚀,又称离子束溅射刻蚀,显影腐蚀机,原理是使带能粒子在强电场下加速,这些带能粒子通过溅射刻蚀作用去除未被保护的硅片表面材料,化学性刻蚀,又称等离子体刻蚀,纯化学刻蚀作用中,通过等离子体产生的自由基和反应原子与硅片表面的物质发生化学反应达到刻蚀的效果,可以得到较好的刻蚀选择性和较高的刻蚀速率。显影腐蚀机-张家口显影-苏州晶淼半导体(查看)由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。显影腐蚀机-张家口显影-苏州晶淼半导体(查看)是苏州晶淼半导体设备有限公司今年新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:王经理。)
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