晶圆腐蚀-泰州晶圆-苏州晶淼半导体
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,晶圆腐蚀,切片后,晶圆腐蚀机,形成硅晶圆片;晶圆片生产的过程中,需对晶圆片的边缘进行腐蚀,但现有的腐蚀装置,腐蚀效率仍有待进一步提高;现需要一种晶圆片边缘腐蚀机,可提高腐蚀效率,进而提高生产效率。等离子干法刻蚀技术是利用等离子体进行薄膜微细加工的技术。在典型的干法刻蚀工艺过程中,一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中,在外部能量作用下(如射频、微波等)形成等离子体,干法刻蚀技术由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于微电子产品制造领域,晶圆清洗台,凭借在等离子体控制、反应腔室设计、刻蚀工艺技术、软件技术的积累与创新,北方华创微电子在集成电路、半导体照明、微机电系统、***封装、功率半导体等领域可提供装备及工艺解决方案。形成了对硅、介质、化合物半导体、金属等多种材料的刻蚀能力,刻蚀设备已进入主流芯片代工厂,其余各类产品也凭借其优异的工艺性能成为了客户的优选。清洗设备主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。其中酸槽和管路单元是清洗设备的主要组成部分。按照材料的差异,泰州晶圆,槽体可分为用不锈钢材质的生产的槽、用NPP材质生产的抗腐蚀的槽、用PVDF材质生产的槽、用PTFE材质生产的槽、用石英材质生产的槽等,按照功能的差异槽体又可分为酸碱刻蚀槽、溢流清洗槽、快速排水槽和使晶圆快速干燥的干燥槽等,根据清洗工艺要求的不同,还可以增加腐蚀液的超声及兆声清洗、腐蚀液加热或制冷、搅拌、循环及去离子水加热等清洗功能。晶圆腐蚀-泰州晶圆-苏州晶淼半导体由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。苏州晶淼半导体设备有限公司位于苏州工业园区金海路34号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前苏州晶淼半导体在清洗、清理设备中享有良好的声誉。苏州晶淼半导体取得全网商盟认证,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。苏州晶淼半导体全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。)
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