光学微电子净化工程解决方案:3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，无尘室施工，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，无尘室，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。无尘室温湿度控制方法：1、无尘室温湿度维护管理。①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，无尘室工程，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘***、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。2、室内发尘不积留。墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期***和清扫、制程设备四周应留有空间。3、发生尘埃排除。换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。无尘室-无尘室工程-清阳净化系统工程(推荐商家)由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司位于江苏昆山张浦花苑路158号。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前清阳净化系统工程在工程施工中享有良好的声誉。清阳净化系统工程取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。清阳净化系统工程全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。)