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光学微电子净化工程解决方案:4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点B、室内空气参数要求:(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。(2)新风量大。由于这类车间内,无尘室施工,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,无尘室厂家,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,无尘室,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。光学微电子净化工程解决方案:净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,简易无尘室,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。无尘室厂家-无尘室-清阳净化系统工程(查看)由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司是江苏苏州,工程施工的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在清阳净化系统工程***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创清阳净化系统工程更加美好的未来。)
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