含硅光刻胶为了避免光刻胶线条的倒塌，线宽越小的光刻工艺，就要求光刻胶的厚度越薄。在20nm技术节点，光刻胶的厚度已经减少到了100nm左右。但是薄光刻胶不能有效的阻挡等离子体对衬底的刻蚀[2]。为此，研发了含Si的光刻胶，这种含Si光刻胶被旋涂在一层较厚的聚合物材料（常被称作Underlayer），其对光是不敏感的。***显影后，NR93000PY光刻胶，利用氧等离子体刻蚀，把光刻胶上的图形转移到Underlayer上，在氧等离子体刻蚀条件下，含Si的光刻胶刻蚀速率远小于Underlayer，具有较高的刻蚀选择性[2]。含有Si的光刻胶是使用分子结构中有Si的有机材料合成的，例如硅氧烷，含Si的树脂等以上就是关于光刻胶的相关内容介绍，如有需求，欢迎拨打图片上的***电话！光刻胶的成分树脂:光刻树脂是一种惰性的聚合物基质，是用来将其他材料聚合在一-起的粘合剂。光刻胶的粘附性、胶膜厚度等都是树脂给的。感光剂:感光剂是光刻胶的部分，他对光形式的辐射能，特别在紫外区会发生反应。***时间、光源所发射光线的强，度都根据感光剂的特性选择决定的。溶剂:光刻胶中容量较大的成分，感光剂和添加剂都是固体物质，为了方便均匀的涂覆，要将他们加入溶剂进行溶解，形成液态物质，并且使之具有良好的流动性，可以通过选择方式涂布在wafer表面。添加剂:用以改变光刻胶的某些特性，如改善光刻胶发生反射而添加染色剂。想了解更多关于光刻胶的相关资讯，NR93000PY光刻胶厂家，请持续关注本公司。光刻胶的组成光刻胶一般由4种成分组成:树脂型聚合物、光活性物质、溶剂和添加剂。树脂是光刻胶中占比较大的组分，NR93000PY光刻胶哪里有，构成光刻胶的基本骨架，NR93000PY光刻胶价格，主要决定***后光刻胶的基本性能，包括硬度、柔韧性、附着力、耐腐蚀性、热稳定性等。光活性物质是光刻胶的关键组分，对光刻胶的感光度、分辨率等其决定性作用。以下内容由赛米莱德为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。NR93000PY光刻胶-北京赛米莱德公司由北京赛米莱德贸易有限公司提供。NR93000PY光刻胶-北京赛米莱德公司是北京赛米莱德贸易有限公司今年新升级推出的，以上图片仅供参考，请您拨打本页面或图片上的联系电话，索取联系人：苏经理。)