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净化车间施工-净化车间-科宏净化品质保障(查看)
济南净化车间净化车间净化室环境立即危害芯片制程加工工艺产品合格率。芯片的生产制造要使用数千流程,净化车间改造,整个过程中环境温度、气体洁净度遭受十分严谨的操纵,在这类环境的洁净室,根据各种各样工业设备,净化车间,将晶圆片持续的运转开展生产加工,通过严谨的制程和严格的无尘室环境下进行封装形式芯片。大家都知道,空气中本就充斥着尘埃,细微到人眼不由此可见,可是这种尘埃如落在生产制造芯片的环境中,针对每一个电子管的容积它便是非常大颗粒物了,在制程中尘埃或是污染物质落到晶圆上,会导致芯片的短路故障及烧蚀等别的欠佳。因而确保芯片的高良率,就需要维护它的高生产制造环境和洁净度!在工程设计中,必须从经济性(包括造价与运行)、***性(技术方面)、节能等多方面加以综合比较,才能得出合理与否。不能单纯从某一方面去看,大多数设计工程设计中规范在选择技术手段、确定某个参数的时候都是遵循这个原则的,因此,FFU静压箱内相对于室外成一定的负压具有合理的(见下面具体的计算分析),这也与工程设计指导思想是一致的。问题关键是如何确定这个负压值?我们暂且称为经济值,这个值的合理性、经济性才是我们关心的。很明显如果遵照规范,FFU上部静压箱相对于室外不能为负压,而且还应该保证应不小于10Pa的正压。假定洁净室内为15Pa(相对室外非洁净区),净化车间安装,反推一下,要保证静压箱内为10Pa(相对室外),则回风干盘管、回风夹道、地格栅风压损失之和必须小于等于5Pa。若先不考虑回风夹道及地格栅损失,仅以干盘管阻力损失为5Pa计算(计算方法见本文第2节),得出迎面风速约为0.34kg/(m2.s),按此风速,从新选择干盘管,则至少需要13台相同型号的干盘管,是原设计的3倍多。而要保证如此小的压力损失,地格栅(回风有效)面积、回风夹道面积也必然大大增加。测试程序:1)确定空调系统正常运转并可供测试,风速与风量必需调整平衡完毕。2)允许使用pvc布做环绕高校过滤器的遮断二次气流的干扰。3)过滤器上游释放PAO气溶胶,微粒浓度是大约每公升空气含有20到50微克。4)过滤器的全部面积均必须以光度计做扫描泄漏测试。扫描点乃位于过滤器表面下方25mm,而扫描速度则为50mm/sec。5)所有穿透过滤器安装框架的测试孔、导线孔等,净化车间施工,均采用激光粒子计数器进行扫描测试,扫描点在其表面20~100mm间,扫描速度50mm/sec。6)在过滤器下游采样,检查浓度。若是下游浓度超过设定值(0.01%)则判定为泄漏。7)如果过滤器表面出现泄漏,更换过滤器。框架出现泄漏,过滤器的安装边框需进行密封处理。直至过滤器泄漏合格。测试仪器:气溶胶光度计:ATI-2H一台,采样量1cfm气溶胶发生器:ATI-4B一台、PAO溶剂4升空气压缩机:PUMA-2P一台合格标准:过滤器包括安装边框扫描所有***率不超过0.01%。净化车间施工-净化车间-科宏净化品质保障(查看)由山东科宏净化工程有限公司提供。山东科宏净化工程有限公司是山东济南,工程施工的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在科宏净化***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创科宏净化更加美好的未来。)