FS1015CL-100-ISO-A气体流量传感器-Siargo气体质量流量传感器FS1015CLFS1015CL系列气体质量流量传感器是为各类***用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围到150SLPM，ISO15mm连接方式适用于***机等多种***设备。)