扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。整机尺寸：1m×0.85m×1.3m扫描范围：500mm×350mm×110mm；典型扫描耗时：小于30s（测试条件：扫描区域10mm×10mm，分辨率50um）；扫描速度：1000mm/s；图像推荐分辨率：1～4000um；厚度检测范围（根据客户工件的材料和厚度选配）Ag材料：Cu材料：0.3~1.5mm（25MHz探头）；0.5~1.4mm（25MHz探头）；1.0~4.0mm（15MHz探头）；1.2~3.7mm（15MHz探头）；***精度：X/Y≤±1μm，Z≤±10μm；重复***精度：X/Y≤0.01mm，Z≤±0.02mm)