扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。一键校准、手动扫描（A/B/C扫描模式）、批量扫描、导出报告、探头切换、强度检测、相位检测、厚度检测、断层检测。)