扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。1.环境温度要求：20～35℃2.环境相对湿度：35℃≤50％RH3.工作电源：220V±10%/50Hz，2KW220V/50Hz，3KW4.水源：自来水，或去离子水，水温要求：15～30℃5.周边环境：不要放在强磁场、电磁波和产生高频设备的旁边。减少振动。灰尘少、湿气少，没有腐蚀性气体的地方。电源的变化，限制到小。为了防止***的损坏，四周一定要固定。)