
北京科创真空公司-真空箱式氦检漏-真空箱式氦检漏系统
企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司氦检漏设备(1)对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦结束后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100h/cm3时,值点仍处于分子流范围,不能靠粗检法鉴别,所以需辅以压氦法复检,才能防止漏检。(3)地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的特征点变大,真空箱式氦检漏,从而扩大了需要辅以压氦法复检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检的结果。氦质谱检漏仪充氦法充氦法也称负压法,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,真空箱式氦检漏系统,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。再把这些器件逐个(或成组)地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中,把此容器抽空后打开节流阀,这时原***入被检器件的氦又会经过漏孔放出来,检漏仪就会给出漏率响应。半导体设备及材料需要检漏原因1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并***其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到***或有腐蚀性的特殊气体,真空箱式氦检漏系统,经过氦质谱检漏后,真空箱式氦检漏系统,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。真空箱式氦检漏系统-真空箱式氦检漏-北京科创真空公司(查看)由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。行路致远,砥砺前行。北京科创鼎新真空技术有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴,更矢志成为行业设备具有竞争力的企业,与您一起飞跃,共同成功!)