光刻胶 FUTURREX-赛米莱德公司
光刻胶的参数赛米莱德生产、销售光刻胶,我们为您分析该产品的以下信息。分辨率分辨率英文名:resolution。区别硅片表面相邻图形特征的能力,一般用关键尺寸(CD,CriticalDimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。对比度对比度(Contrast)指光刻胶从***区到非***区过渡的陡度。对比度越好,形成图形的侧壁越陡峭,光刻胶FUTURREX报价,分辨率越好。敏感度敏感度(Sensitivity)光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长光的能量值(或***量)。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻胶的敏***对于波长更短的深紫外光(DUV)、极深紫外光(EUV)等尤为重要。粘滞性黏度粘滞性/黏度(Viscosity)是衡量光刻胶流动特性的参数。粘滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加;高的粘滞性会产生厚的光刻胶;越小的粘滞性,就有越均匀的光刻胶厚度。光刻胶的比重(SG,SpecificGr***ity)是衡量光刻胶的密度的指标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体,粘滞性更高、流动性更差。粘度的单位:泊(poise),光刻胶一般用厘泊(cps,光刻胶FUTURREX多少钱,厘泊为1%泊)来度量。百分泊即厘泊为粘滞率;运动粘滞率定义为:运动粘滞率=粘滞率/比重。单位:百分斯托克斯(cs)=cps/SG。粘附性粘附性(Adherence)表征光刻胶粘着于衬底的强度。光刻胶的粘附性不足会导致硅片表面的图形变形。光刻胶的粘附性必须经受住后续工艺(刻蚀、离子注入等)。抗蚀性抗蚀性(Anti-etching)光刻胶必须保持它的粘附性,在后续的刻蚀工序中保护衬底表面。耐热稳定性、抗刻蚀能力和抗离子轰击能力。表面张力液体中将表面分子拉向液体主体内的分子间吸引力。光刻胶应该具有比较小的表面张力(SurfaceTension),使光刻胶具有良好的流动性和覆盖。光刻胶定义以下是赛米莱德为您一起分享的内容,赛米莱德生产光刻胶,欢迎新老客户莅临。光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料,是转移紫外***或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的英文名为resist,又翻译为抗蚀剂、光阻等。因为光刻胶的作用就是作为抗刻蚀层保护衬底表面。光刻胶只是一种形象的说法,因为光刻胶从外观上呈现为胶状液体。光刻胶通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。当紫外光或电子束的照射时,光刻胶材料本身的特性会发生改变,经过显影液显影后,***的负性光刻胶或未***的正性光刻胶将会留在衬底表面,这样就将设计的微纳结构转移到了光刻胶上,而后续的刻蚀、沉积等工艺,就可进一步将此图案转移到光刻胶下面的衬底上,后再使用除胶剂将光刻胶除去就可以了。光刻胶按其形成图形的极性可以分为:正性光刻胶和负性光刻胶。正胶指的是聚合物的长链分子因光照而截断成短链分子;负胶指的是聚合物的短链分子因光照而交链长链分子。短链分子聚合物可以被显影液溶解掉,因此正胶的***部分被去掉,而负胶的***部分被保留。光刻胶一般由4部分组成:树脂型聚合物(resin/polymer),溶剂(solvent),光活性物质(photoactivecompound,PAC),添加剂(Additive)。其中,光刻胶FUTURREX,树脂型聚合物是光刻胶的主体,它使光刻胶具有耐刻蚀性能;溶剂使光刻胶处于液体状态,便于涂覆;光活性物质是控制光刻胶对某一特定波长光/电子束/离子束/X射线等感光,光刻胶FUTURREX公司,并发生相应的化学反应;添加剂是用以改变光刻胶的某些特性,如控制胶的光吸收率/溶解度等。光刻胶成分介绍以下内容由赛米莱德为您提供,今天我们来分享光刻胶的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!光刻开始于-种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶又称光致抗蚀剂,以智能管感光材料,在光的照射与溶解度发生变化。光刻胶成份光刻胶通常有三种成分:感光化合物、基体材料和溶剂。在感光化合物中有时还包括增感剂。根据光刻胶按照如何响应紫外光的性可以分为两类:负性光刻胶和正性光刻胶。1、负性光刻胶主要有聚酯胶和环化橡胶系两大类,前者以柯达公司的KPR为代表,后者以OMR系列为代表。2、正性光刻胶主要以重氮醌为感光化合物,以酚醛树脂为基体材料。常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、而刻蚀性和附着性等较差。光刻胶的特点1、在光的照射下溶解速率发生变化,利用***区与非***区的溶解速率差来实现图形的转移;2、溶解***/溶解促进共同作用;3、作用的机理因光刻胶胶类型不同而不同;光刻胶FUTURREX-赛米莱德公司由北京赛米莱德贸易有限公司提供。“光刻胶”选择北京赛米莱德贸易有限公司,公司位于:北京市北京经济技术开发区博兴九路2号院5号楼2层208,多年来,赛米莱德坚持为客户提供好的服务,联系人:苏经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。赛米莱德期待成为您的长期合作伙伴!)
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