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引起镀膜玻璃膜层不均匀原因有哪些由于残余气体的存在,不但影响膜的纯度及质量,还会产生。所以在生产中要选用高纯度的气为工作气体,严格控制真空室的漏气速率,以减小残余气体对原片及膜层的污染。将残余气体的压力控制在10Pa以下,要经常清理加热室、玻璃过渡室、溅射室的环境,减少扩散泵返油对玻璃的污染。同时可适当提高阴极的溅射功率,以增加粒子动能及扩散能力,这将有利于清除被镀膜玻璃表面的残留物质,减少镀膜玻璃的。镀膜玻璃膜的膜层均匀度一般地讲,同一基片上膜层厚薄不同,就称之为膜层不均匀。引起镀膜玻璃膜层不均匀的原因是多方面的。磁控溅射靶的水平磁场强度(B)对膜层均匀度的影响磁控溅射的关键参数之一是与电场垂直的水平磁场强度B,因为水平磁场强度B要求在阴极靶的表面是一个均匀的数值。而实际生产过程中值是随着使用方法及时间的推移,产生一定的变化,而出现不均匀现象。我们从溅射过的阴极靶材的刻蚀区的变化情况就可以验证。真空镀膜机工作的特点真空镀膜机工作的特点是溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定中频设备必须加冷却水进行冷却,原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷会聚集在电导有表面积,这样会使电导发热,所以采用中孔管做导体中间加水冷却。冷水机能控制真空镀膜机的温度,以保证镀件的高质量。如果不配置冷水机就不能使真空镀膜机达到、率控制温度的目的,因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。镀膜理论镀膜控制穿过光学干涉机制的反射光和透射光。当两个光束沿着同步路径传输及其相位匹配时,波峰值的空间位置也匹配并将结合创建较大的总振幅。当光束为反相位(180°位移)时,其叠加会导致在所有峰值的消减效应,导致结合的振幅降低。这些效应被分别称为建设性和***性的干涉。光的波长和入射角通常是的,折射率和层厚度则可以有所不同以优化性能。上述的任何更改将会影响镀膜内光线的路径长度,并将在光透射时改变相位值。这种效应可简单地通过单层增透膜例子说明。当光传输穿过系统时,在镀膜任一侧的两个接口指数更改处将出现反射。为了尽量减少反射,我们希望它们在个接口重组时,这两个反射部分具有180°的相位移。这个相位差异直接对应于aλ/2位移的正弦波,它可通过将层的光学厚度设置为λ/4获得良好实现。)
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