真空设备系统的简单介绍真空设备系统的简单介绍真空设备系统是由什么组成的呢？今天我们就来为大家简单介绍一下。(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。真空镀膜机真空器件的常用检漏方法真空镀膜机真空器件的常用检漏方法依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求，常用的有两种检漏办法，即氦罩法和喷吹法（这两种检漏办法具体介绍可见：氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法）。检漏时，先用氦罩法进行总漏率的测定，当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。氦罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后，用一个充溢氦气的查验罩，把被检件全体或部分的表面面包围起来，如图4所示。查验罩充氦时先将罩内空气排出再充氦，以确保罩内氦浓度尽可能挨近100百分之，被检件上任何地方有走漏。检漏仪都会有漏率值改变，显示出漏率值。氦罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。A***192T2氦质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而氦罩时刻30s即可。氦罩法可方便地测定被检件总漏率，不会漏掉任何一处漏点，但不能确认漏孔方位。喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连，对被检件抽真空后用喷向漏孔处吹喷氦气。当有漏孔存在时，氦气就经过漏孔进入质谱仪被检测出，喷吹法弥补了氦罩法不能***的缺点。真空镀膜机使用及***注意事项真空镀膜机设备在运输中可能会出现这样那样的问题，所以在使用之前，一定要严格进行检查，以确保人身安全，那么在使用真空镀膜机使用前具体是需要做好哪些检查工作呢？1.主机齿轮箱、牵引减速箱应该时常加油，更换齿轮油。2.新机请在使用10天左右更换新齿轮油，以确保各转动部位正常运转。3.注意加油，防止卡住和过热损坏。4.还应检查各连接部位的固紧情况，防止罗栓松动。5.泡管中的压缩空气应保持适量。6.启动主电机时，应先启动电机后慢慢加速；关闭主电机，应先减速后再关机。)