赛米莱德-光刻胶 FUTURREX
光刻胶的参数赛米莱德生产、销售光刻胶,我们为您分析该产品的以下信息。分辨率分辨率英文名:resolution。区别硅片表面相邻图形特征的能力,一般用关键尺寸(CD,CriticalDimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。对比度对比度(Contrast)指光刻胶从***区到非***区过渡的陡度。对比度越好,形成图形的侧壁越陡峭,分辨率越好。敏感度敏感度(Sensitivity)光刻胶上产生一个良好的图形所需一定波长光的能量值(或***量)。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻胶的敏***对于波长更短的深紫外光(DUV)、极深紫外光(EUV)等尤为重要。粘滞性黏度粘滞性/黏度(Viscosity)是衡量光刻胶流动特性的参数。粘滞性随着光刻胶中的溶剂的减少而增加;高的粘滞性会产生厚的光刻胶;越小的粘滞性,就有越均匀的光刻胶厚度。光刻胶的比重(SG,SpecificGr***ity)是衡量光刻胶的密度的指标。它与光刻胶中的固体含量有关。较大的比重意味着光刻胶中含有更多的固体,粘滞性更高、流动性更差。粘度的单位:泊(poise),光刻胶一般用厘泊(cps,厘泊为1%泊)来度量。百分泊即厘泊为粘滞率;运动粘滞率定义为:运动粘滞率=粘滞率/比重。单位:百分斯托克斯(cs)=cps/SG。粘附性粘附性(Adherence)表征光刻胶粘着于衬底的强度。光刻胶的粘附性不足会导致硅片表面的图形变形。光刻胶的粘附性必须经受住后续工艺(刻蚀、离子注入等)。抗蚀性抗蚀性(Anti-etching)光刻胶必须保持它的粘附性,在后续的刻蚀工序中保护衬底表面。耐热稳定性、抗刻蚀能力和抗离子轰击能力。表面张力液体中将表面分子拉向液体主体内的分子间吸引力。光刻胶应该具有比较小的表面张力(SurfaceTension),使光刻胶具有良好的流动性和覆盖。光刻胶分类1、负性光刻胶主要有聚酸系(聚酮胶)和环化橡胶系两大类,前者以柯达公司的KPR为代表,后者以OMR系列为代表。2、正性光刻胶主要以重氮醒为感光化台物,光刻胶FUTURREX厂家,以酚醛树脂为基本材料。的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、耐刻蚀性和附着性等较差。3、负性电子束光刻胶为含有环氧基、乙烯基或环硫化物的聚合物。的是COP胶,典型特性:灵敏度0.3~0.4μC/cm^2(加速电压10KV时)、分辨率1.0um、对比度0.95。限制分辨率的主要因素是光刻胶在显影时的溶胀。4、正性电子束光刻胶主要为甲酯、烯砜和重氮类这三种聚合物。的是PMMA胶,典型特性:灵敏度40~80μC/cm^2(加速电压20KV时)、分辨率0.1μm、对比度2~3。PMMA胶的主要优点是分辨率高。主要缺点是灵敏度低,此外在高温下易流动,耐干法刻蚀性差。想要了解更多光刻胶的相关内容,请及时关注赛米莱德网站。光刻胶成分介绍以下内容由赛米莱德为您提供,光刻胶FUTURREX多少钱,今天我们来分享光刻胶的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!光刻开始于-种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶又称光致抗蚀剂,光刻胶FUTURREX哪家好,以智能管感光材料,在光的照射与溶解度发生变化。光刻胶成份光刻胶通常有三种成分:感光化合物、基体材料和溶剂。在感光化合物中有时还包括增感剂。根据光刻胶按照如何响应紫外光的性可以分为两类:负性光刻胶和正性光刻胶。1、负性光刻胶主要有聚酯胶和环化橡胶系两大类,光刻胶FUTURREX,前者以柯达公司的KPR为代表,后者以OMR系列为代表。2、正性光刻胶主要以重氮醌为感光化合物,以酚醛树脂为基体材料。常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、而刻蚀性和附着性等较差。光刻胶的特点1、在光的照射下溶解速率发生变化,利用***区与非***区的溶解速率差来实现图形的转移;2、溶解***/溶解促进共同作用;3、作用的机理因光刻胶胶类型不同而不同;赛米莱德-光刻胶FUTURREX由北京赛米莱德贸易有限公司提供。北京赛米莱德贸易有限公司是北京大兴区,工业制品的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在赛米莱德***携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创赛米莱德更加美好的未来。)
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