国内真空镀膜机械的发展我国镀膜市场一直在扩大需求，行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备，这些设备工艺技术比较高，可靠性强，价钱也非常之高，不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平，使之达到发达***水平；国内的真空设备也相对引进***技术取得了巨大进步，真空镀膜设备已经达到较高水准，完够满足一般企业的需求，部分实力厂家产品更是销往，譬如汇成真空。整个镀膜行业被物理和化学镀膜占据，他们的发展左右着我国整个镀膜行业的发展，而随着环保的提倡，化学镀膜渐渐减少，环保物理镀膜占据更多江山，镀膜真空设备成为了这个行业发展的指标，政策对环保设备的大力支持未来真空设备的发展将更加广阔。真空镀膜设备故障排除及检漏方法真空镀膜设备故障排除及检漏方法在真空镀膜设备正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100V左右,栅极得到正偏压50V,高压指示6kV(或10kV)。从检测电路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位。栅压切换电路上的BG10得到2.5V的电压控制信号而处于导通状态,使得BG9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过D6、D7得到正向50V偏置的电压。同时BG7、BG8也处于导通状态,D8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于BG10处于导通状态,使得帘栅控制电路的BG4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号UR2的控制。当UR2<UD2时,输出的帘栅压的大小是随UR2的变化而变化。在真空镀膜设备不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路R21取得的过流信号,使得D13稳压管被击穿导通,BG14、BG15、BG16处于导通状态,C13通过BG14、R51放电,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11输出为0V。栅压切换电路上的BG10得到0V的输入信号而截止,BG9立刻导通,550V正端通过BG9接到主开关管的阴极,负端通过D5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550V偏压而进入深度截止,此时高压就没有指示了。真空设计应考虑节能减排低碳原则传统的真空设计，对于真空室设计，为了节约加工成本，采用易加工简单的真空室，对抽真空系统设计，经常选用极限真空较高的机械泵、罗茨泵、扩散泵组合系统，但当前从节能减排的低碳要求出发，往往是不合理的，而且用户日后在长期运行中，能耗很大，使应用真空的产品后续成本大为提高。过去的真空设计较多考虑真空室参数选用，抽气时间计算，真空室容积、抽气速率、漏率、压升率、极限真空、强度计算、真空管道分子流流导计算，真空系统的设计和选用。当然这些都是需要的，在当时的历史经济背景下，很少考虑节能减排，而在当前的世界经济发展危及地球气候变暖，生态失去平衡，以及能源短缺的背景下，真空设计注重节能减排的低碳原则，同其它用电大户一样，有义不容辞的责任；固然，这样改进真空设计，一般也可能降低真空设备制造成本，但有时即使设计中贯彻低碳原则，提高了些成本，也应在所不惜，譬如涉及抽气时间的真空室容积选择，不能一开始就选用圆柱形筒状，必须依低碳原则考虑一下其它形状能否更节能。在现代***的加工、焊接技术条件下，需要权衡一下把节能考虑的‘权重’提高。又譬如涉及极限真空的选择，不能一开始就追求选用高的极限真空的指标，极限真空非常高，当然能使背景真空非常洁净，对工艺有利，但不能无节制，常常在不影响工艺的条件下，可以选用极限真空不太高的指标。)