测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和**测量，配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置。详细介绍测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和**测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置。测量显微镜的介绍：光学成象系统OpticalImagingSystem-----无限远光学系统,管镜焦距200mmInfinitiveOpticalsystam,TubeLensFocalLength200mm-----铰链式三目镜筒,30°倾斜,瞳距55-75mmCompensationFreeTrinocularTube,Inclinedat30°,InterpupillaryDistance55-75mm-----高眼点,大视场目镜WF10X/22HighPointandWideFieldEyepieceWF10/22-----长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055,5X/0.14,10X/0.28,20X/0.29,50X/0.42LongWorkingDistance,PlanApoObjectives2X/0.055,5X/0.14,10X/0.28,20X/0.29,50X/0.42------五孔物镜转换器QuintupleNosepiece调焦系统FocusAdjustmentSystem-----同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mmCoaxialCoarse&FinFocusAdjustmentSystem,FineDivision0.002mm载物台Stage------6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm6″x8″DoubleLayerMechanicalStage,MoveRange153x204mm.三维测量系统Three-dimensionalMeasurementSystem-------分辨率:1μmResolution:1μm-------测量精度:±(2+L/200)μmMeasurementExactitude:±(2+L/200)μm------重复ding位精度:2μm照明系统IlluminatioSystem-------冷光源光纤反射照明器:150WDoldLightFiberReflectedIllnminator:150W完善和**的测量软件--------完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)CompleteGeometricMeasurement(Point,Line,Circle,Arcetc.)--------坐标系的设定,摆正,旋转--------显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换DiversityofDisplay:ConversionofLanguage,MeasureandAngle软件介绍完整的几何量测（如：点、线、园、弧、角度等）。坐标系的设定，摆正、旋转。逆向工程功能以及与AutoCAD的同步操作使用以及与CAM的连接。测量*准度的校正和补偿。针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能；快速准确的现场实时测量。显示方式多样化：语言的切换（中文简体和繁体；英文等）；公英制单位的切换（mm/inch）；角度的转换（度、度／分／妙）；显示数字的小数点可自设；各种线的颜色可自设标注随意化：可依据不同的语言、颜色、格式在图形的任何位置进行标注。个性化的编辑：有fu制、粘贴、删除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。)